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経産省産業技術実用化開発事業費補助金(サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金) 2022/02/28 締切- カテゴリー:
- 研究開発/商品・サービス開発
- 設備投資
- 対象地域:
- 全国
- 支援規模:
- 1億円以上